2020年01月29日，中微半导体设备（上海）有限公司自主研发的5nm 刻蚀机，正式获台积电认可，并将于2020年投入生产，为华为、苹果、高通等生产5nm工艺的芯片。目前，该公司已获国内内存企业长江存储9台刻蚀机订单。另据该公司称，公司刻蚀机还将被长江存储、华虹、粤芯、积塔半导体、合肥长鑫以及中芯国际等公司生产线所采用。

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